Konstruktion zur Lagerung und Organisation von Teilen mit Minimal-Kontakt-Fläche und Wafer Transfer Pins Während der System Wartung
EP3176815
Art B1
27. Juli 2022
Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3176815
- Aktenzeichen
- EP16201598
- Anmeldetag
- 1. Dezember 2016
- Veröffentlichung
- 27. Juli 2022
- Erteilung
- 27. Juli 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München