Alkoxidverbindung, Dünnschichtbildendes Ausgangsmaterial, Dünnschichtbildungsverfahren und Alkoholverbindung

EP3178808 Art B1 6. November 2024

Anmelder: Adeka Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3178808
Aktenzeichen
EP15829762
Anmeldetag
16. Juli 2015
Veröffentlichung
6. November 2024
Erteilung
6. November 2024
Rechtsraum
EP
IPC
C07C251/08C23C16/455C07F7/10C07F7/08C07F15/04C07C251/76C23C16/18H01L21/285C07F15/06C07F17/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Adeka Corporation
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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