Bildgebungsvorrichtung und Abbildungsverfahren

EP3179204 Art B1 1. August 2018

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3179204
Aktenzeichen: EP16186551
Anmeldetag: 31. August 2016
Veröffentlichung: 1. August 2018
Erteilung: 1. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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