Nand-Flash-Speicher und Herstellungsverfahren dafür
Anmelder: Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation, Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation, Semiconductor Manufacturing International Corporation (Beijing), Semiconductor Manufacturing International Corporation (Shanghai) 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3179503
- Aktenzeichen
- EP16202210
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2016
- Veröffentlichung
- 26. Mai 2021
- Erteilung
- 26. Mai 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/28H01L21/02H01L21/3105H01L21/768H01L29/66H01L27/11521H01L27/11531H01L21/762
Abstract
A method for fabricating an NAND flash memory includes providing a semiconductor substrate with a core region and a peripheral region, forming a plurality of discrete gate stack structures in the core region with neighboring gate stack structures separated by a first dielectric layer. The method further includes forming a flowable dielectric layer on the first dielectric layer and the gate stack structures, and forming a solid dielectric layer through a solidification treatment process performed on the flowable dielectric layer. Voids and seams formed in the top portion of the first dielectric layer are filled by the solid dielectric layer. The method also includes removing the solid dielectric layer and a portion of the first dielectric layer to expose a top portion of the gate stack structures, and forming a metal silicide layer on each gate stack structure.
Anmelder
- Firmen
- Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation
Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation
Semiconductor Manufacturing International Corporation (Beijing)
Semiconductor Manufacturing International Corporation (Shanghai) - Land
- 🇨🇳 China
Semiconductor Manufacturing International (Beijing) ist die Pekinger Fertigungstochter des chinesischen Chip-Auftragsfertigers SMIC. Das Patentportfolio dreht sich fast vollständig um Halbleiter- und elektrische Bauelemente, mit kleineren Anteilen in Datenspeicherung und Optik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2016 bis 2021.
281 Patente in unserer Datenbank
Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) ist eine Tochtergesellschaft der chinesischen Chipfoundry SMIC mit Sitz in Shanghai. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiterbauelemente, ergänzt um Elektronik- und Steuerungstechnik. Die Anmeldungen aus den Jahren 2016 bis 2021 betreffen unter anderem Halbleiterstrukturen und Spannungsregler.
266 Patente in unserer Datenbank