Verfahren zur Herstellung einer Vorgemusterten Struktur zur Züchtung von Vertikalen Nanostrukturen

EP3182459 Art A1 21. Juni 2017

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3182459
Aktenzeichen: EP16176421
Anmeldetag: 27. Juni 2016
Veröffentlichung: 21. Juni 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/06H01L29/786H01L29/78H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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