Verfahren zur Herstellung einer Gruppe-Iii-Nitrid-Hemt-Vorrichtung des Anreicherungstyps und eine daraus Hergestellte Gruppe-Iii-Nitrid-Struktur

EP3182460 Art A1 21. Juni 2017

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3182460
Aktenzeichen
EP16195889
Anmeldetag
27. Oktober 2016
Veröffentlichung
21. Juni 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/778H01L21/337H01L29/10// H01L29/423H01L29/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC VZW
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

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