System zur Messung der Dosis von aus Halbleitermaterial Reflektierender Strahlung zur Verwendung bei der Messung des Dotierstoffgehalts davon

EP3186826 Art B1 24. Mai 2023

Anmelder: Aurora Solar Technologies (Canada) Inc. 🇨🇦

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3186826
Aktenzeichen
EP15836614
Anmeldetag
28. August 2015
Veröffentlichung
24. Mai 2023
Erteilung
24. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01N21/95G01N21/3563G01N21/55G01J3/02G01J3/433H01L31/18H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Aurora Solar Technologies (Canada) Inc.
Land
🇨🇦 Kanada
Kanzlei
Withers & Rogers München, Deutschland

Withers & Rogers zählt zu Europas größten IP-Kanzleien und ist neben Großbritannien auch in Paris und seit 2019 in München vertreten. Ihre erklärte Aufgabe: Mandanten den oft unübersichtlichen europäischen IP-Schutz verständlich zu machen.

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