Verfahren zur Prüfung eines Musters von Merkmalen auf einer Halbleitermatrize

EP3190464 Art B1 11. August 2021

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3190464
Aktenzeichen: EP16191312
Anmeldetag: 29. September 2016
Veröffentlichung: 11. August 2021
Erteilung: 11. August 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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