Rippen-Feldeffekttransistor und dessen Herstellungsverfahren

EP3190610 Art A3 19. Juli 2017

Anmelder: Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation, Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation, Semiconductor Manufacturing International Corporation (Shanghai), Semiconductor Manufacturing International Corporation (Beijing) 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3190610
Aktenzeichen: EP16207189
Anmeldetag: 28. Dezember 2016
Veröffentlichung: 19. Juli 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/8234H01L27/088

Offizieller Volltext

Abstract

The present invention provides fin field-effect transistors and fabrication methods thereof. An exemplary fabrication process includes providing a substrate having a first region and a second region; forming first fins in the first region and second fins in the second region; forming a liner oxide layer on side surfaces of the first fins, the second fins and a surface of the substrate; forming an insulating barrier layer on the liner oxide layer in the first region; forming a precursor material layer on the insulating barrier layer in the first region and on the liner oxide layer in the second region; performing a curing annealing process to convert the precursor material into an insulation layer; and removing a top portion of the insulation layer to form an isolating layer and removing portions of the liner oxide layer, the insulating barrier layer, the first oxide layer and the second oxide layer.

Anmelder

Firmen: Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation
Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation
Semiconductor Manufacturing International Corporation (Shanghai)
Semiconductor Manufacturing International Corporation (Beijing)
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Semiconductor Manufacturing International (Shanghai)

Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) ist eine Tochtergesellschaft der chinesischen Chipfoundry SMIC mit Sitz in Shanghai. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiterbauelemente, ergänzt um Elektronik- und Steuerungstechnik. Die Anmeldungen aus den Jahren 2016 bis 2021 betreffen unter anderem Halbleiterstrukturen und Spannungsregler.

266 Patente in unserer Datenbank

🇨🇳 Semiconductor Manufacturing International (Beijing)

Semiconductor Manufacturing International (Beijing) ist die Pekinger Fertigungstochter des chinesischen Chip-Auftragsfertigers SMIC. Das Patentportfolio dreht sich fast vollständig um Halbleiter- und elektrische Bauelemente, mit kleineren Anteilen in Datenspeicherung und Optik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2016 bis 2021.

281 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von