Verfahren und Einrichtungen zur Ansteuerung von Mikrospiegeln

EP3193203 Art B1 29. August 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3193203
Aktenzeichen: EP17157830
Anmeldetag: 6. Oktober 2009
Veröffentlichung: 29. August 2018
Erteilung: 29. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/08G02B27/00G03F7/20G03B27/72

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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