Reinigungsverfahren und Laminat aus Aluminiumnitrid-Einkristallsubstrat
EP3193356
Art B1
20. Dezember 2023
Anmelder: Tokuyama Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3193356
- Aktenzeichen
- EP15839450
- Anmeldetag
- 21. August 2015
- Veröffentlichung
- 20. Dezember 2023
- Erteilung
- 20. Dezember 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Tokuyama Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokuyama
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.
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Fachgebiete
Kanzlei
Canzler & Bergmeier
Ingolstadt, Deutschland
Canzler & Bergmeier entstand aus der Patentabteilung eines Maschinenbauunternehmens und ist heute die größte Patentanwaltskanzlei der Region Ingolstadt. Technische Ausrichtung in Automobiltechnik, Maschinenbau, Halbleitertechnik, KI und Life Sciences für Start-ups bis Großunternehmen.
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Canzler & Bergmeier Patentanwälte Partnerschaft mbB
Canzler & Bergmeier Patentanwälte Partnerschaft mbB · Ingolstadt