Verfahren zur Herstellung eines Cmos-Bildsensors

EP3193370 Art B1 3. März 2021

Anmelder: Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation, Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation, Semiconductor Manufacturing International Corporation (Shanghai), Semiconductor Manufacturing International Corporation (Beijing) 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3193370
Aktenzeichen: EP17150401
Anmeldetag: 5. Januar 2017
Veröffentlichung: 3. März 2021
Erteilung: 3. März 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L27/146

Offizieller Volltext

Abstract

A CMOS image sensor (20) includes a semiconductor substrate (200), a plurality of pixel regions in the semiconductor substrate, a deep trench (201) disposed between two adjacent pixel regions and filled with a polysilicon layer (2012) doped a first conductivity type, a plurality of well regions (2031) having a second conductivity type in each of the pixel regions, a through hole (207) connected to the polysilicon material, and an metal interconnect layer (208) connected to the through hole. The deep trench filled with the doped polysilicon layer completely isolates adjacent pixel regions. A voltage applied to the metal interconnect layer extracts excess photoelectrons generated by intensive incident light to improve the performance of the CMOS image sensor.

Anmelder

Firmen: Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation
Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation
Semiconductor Manufacturing International Corporation (Shanghai)
Semiconductor Manufacturing International Corporation (Beijing)
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Semiconductor Manufacturing International (Shanghai)

Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) ist eine Tochtergesellschaft der chinesischen Chipfoundry SMIC mit Sitz in Shanghai. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiterbauelemente, ergänzt um Elektronik- und Steuerungstechnik. Die Anmeldungen aus den Jahren 2016 bis 2021 betreffen unter anderem Halbleiterstrukturen und Spannungsregler.

266 Patente in unserer Datenbank

🇨🇳 Semiconductor Manufacturing International (Beijing)

Semiconductor Manufacturing International (Beijing) ist die Pekinger Fertigungstochter des chinesischen Chip-Auftragsfertigers SMIC. Das Patentportfolio dreht sich fast vollständig um Halbleiter- und elektrische Bauelemente, mit kleineren Anteilen in Datenspeicherung und Optik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2016 bis 2021.

281 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von