Rohmaterial zur Chemischen Dampfablagerung mit einer Organischen Rutheniumverbindung sowie Verfahren zur Chemischen Dampfablagerung mit Verwendung des Rohmaterials zur Chemischen Dampfablagerung

EP3202949 Art A1 9. August 2017

Anmelder: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3202949
Aktenzeichen: EP15845773
Anmeldetag: 24. September 2015
Veröffentlichung: 9. August 2017
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/18C07F15/00C23C16/448H01L21/28H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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