Ladungsträger-Mikroskop mit Astigmatismuskompensation und Energieauswahl

EP3203493 Art B1 3. Oktober 2018

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3203493
Aktenzeichen
EP16153875
Anmeldetag
2. Februar 2016
Veröffentlichung
3. Oktober 2018
Erteilung
3. Oktober 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/05H01J37/153
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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