Optisches System zur Lithografischen Strukturerzeugung

EP3204825 Art B1 27. Februar 2019

Anmelder: Carl Zeiss AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3204825
Aktenzeichen: EP15767470
Anmeldetag: 22. September 2015
Veröffentlichung: 27. Februar 2019
Erteilung: 27. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss

Carl Zeiss ist ein deutscher Hersteller von optischen und optoelektronischen Systemen mit Sitz in Oberkochen. Das Patentportfolio konzentriert sich klar auf Optik und Fototechnik sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Medizintechnik und Software für bildgebende Anwendungen. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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