Gasversorgungszuführungsvorrichtung mit einem Gasteiler für Einstellbare Gasdurchflussregelung und Verfahren zur Verwendung der Gasversorgungszuführungsvorrichtung
EP3207558
Art B1
3. August 2022
Anmelder: Lam Research Corporation, LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3207558
- Aktenzeichen
- EP15851416
- Anmeldetag
- 16. Oktober 2015
- Veröffentlichung
- 3. August 2022
- Erteilung
- 3. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205H01J37/32C23C16/52C23C16/455
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research Corporation
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München