Verfahren und System zur Hochdurchsatz-Defektinspektion unter Verwendung des Kontrastes im Reduzierten Räumlichen Frequenzbereich
EP3208657
Art A1
23. August 2017
Anmelder: Paul Scherrer Institut 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3208657
- Aktenzeichen
- EP16156736
- Anmeldetag
- 22. Februar 2016
- Veröffentlichung
- 23. August 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/84G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Paul Scherrer Institut
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
PAUL Scherrer Institut
Das Paul Scherrer Institut ist das größte Forschungszentrum für Natur- und Ingenieurwissenschaften der Schweiz mit Sitz in Villigen und Anbindung an Großforschungsanlagen wie Synchrotron und Freie-Elektronen-Laser. Die Patente betreffen vor allem Mess- und Prüftechnik sowie Halbleiterelemente, ergänzt um Medizintechnik, Verfahrenstechnik und Optik. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.
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