Gehärtetes Metall- oder Keramikmaterialmuster

EP3208829 Art A1 23. August 2017

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3208829
Aktenzeichen: EP16156539
Anmeldetag: 19. Februar 2016
Veröffentlichung: 23. August 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027H01L21/033// G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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