Systeme und Verfahren zur Inspektion und Überprüfung auf Reflektierende Waferdefekte
EP3213342
Art A1
6. September 2017
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3213342
- Aktenzeichen
- EP16759622
- Anmeldetag
- 4. März 2016
- Veröffentlichung
- 6. September 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G02B13/14G02B17/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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