Ultraschall-Flüssigkeitsstandmesssysteme

EP3221671 Art B1 21. Juni 2023

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3221671
Aktenzeichen
EP15860126
Anmeldetag
18. November 2015
Veröffentlichung
21. Juni 2023
Erteilung
21. Juni 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01F23/296H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Versum Materials US, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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