Maskenanordnung

EP3221747 Art B1 3. Januar 2024

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3221747
Aktenzeichen
EP15794591
Anmeldetag
16. November 2015
Veröffentlichung
3. Januar 2024
Erteilung
3. Januar 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/62G03F1/00G03F7/20G03F1/64
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

3.336 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Vertreten von
Filip, Diana Veldhoven, Niederlande
14
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
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