Vorrichtung zur Befestigung eines Pellikels
EP3221748
Art B1
3. Januar 2024
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3221748
- Aktenzeichen
- EP15794923
- Anmeldetag
- 16. November 2015
- Veröffentlichung
- 3. Januar 2024
- Erteilung
- 3. Januar 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/62G03F7/20G03F1/00G03F1/64
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Filip, Diana
Veldhoven, Niederlande
14
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven