Spiegel, insbesondere Kollektorspiegel für Mikrolithografie

EP3224677 Art B1 10. Oktober 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3224677
Aktenzeichen: EP15813278
Anmeldetag: 26. November 2015
Veröffentlichung: 10. Oktober 2018
Erteilung: 10. Oktober 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B5/09G02B19/00G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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