System zur Organischen Dampfphasenabscheidung und Verfahren zur Verwendung zur Gleichzeitigen Abscheidung von Materialien mit Niedriger und Hoher Verdampfungstemperatur und Darin Hergestellte Vorrichtungen

EP3230489 Art B1 15. Februar 2023

Anmelder: The Regents Of The University Of Michigan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3230489
Aktenzeichen: EP15823861
Anmeldetag: 11. Dezember 2015
Veröffentlichung: 15. Februar 2023
Erteilung: 15. Februar 2023
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/12C23C14/24C23C14/22H01L51/00H01L51/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents Of The University Of Michigan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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