Horizontaler Substratbehälter mit Integrierter Eckfeder für Substrataufnahme
EP3231009
Art B1
7. Juli 2021
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3231009
- Aktenzeichen
- EP15867731
- Anmeldetag
- 8. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 7. Juli 2021
- Erteilung
- 7. Juli 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673B65D85/38
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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