Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung der Bewegung von Spiegeln in einer Mems-Vorrichtung

EP3232246 Art B1 10. Mai 2023

Anmelder: STMicroelectronics International N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3232246
Aktenzeichen: EP17171014
Anmeldetag: 28. Oktober 2010
Veröffentlichung: 10. Mai 2023
Erteilung: 10. Mai 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: STMicroelectronics International N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇨🇭 STMicroelectronics International

Schweizer Gesellschaft des Halbleiterkonzerns STMicroelectronics, die Chips und Sensoren für Automobiltechnik, Industrie und Unterhaltungselektronik entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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