Mehrachsige Magnetische Immersionsobjektivlinse
EP3232444
Art B1
17. Mai 2023
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Hermes Microvision Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3232444
- Aktenzeichen
- EP17168702
- Anmeldetag
- 16. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 17. Mai 2023
- Erteilung
- 17. Mai 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K1/08H01J37/141H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Hermes Microvision Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Kanzlei
Haft Karakatsanis Patent Law Office
Regen, Deutschland
Münchner Patentanwaltskanzlei mit zweiter Adresse im niederbayerischen Regen, zugelassen als European Patent und Trademark Attorneys vor EPA und EUIPO. Unter dem Namen Patent Matters betreut sie auch mittelständische Betriebe abseits der Landeshauptstadt persönlich vor Ort.
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