Verfahren und Vorrichtungen für Optische Pupillensymmetrisierung
EP3234694
Art B1
12. Oktober 2022
Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3234694
- Aktenzeichen
- EP15797657
- Anmeldetag
- 19. November 2015
- Veröffentlichung
- 12. Oktober 2022
- Erteilung
- 12. Oktober 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Holding N.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Fachgebiete
Vertreten von
Slenders, Petrus J. W
Eindhoven, Niederlande
275
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven