Verfahren und Vorrichtungen für Optische Pupillensymmetrisierung

EP3234694 Art B1 12. Oktober 2022

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3234694
Aktenzeichen
EP15797657
Anmeldetag
19. November 2015
Veröffentlichung
12. Oktober 2022
Erteilung
12. Oktober 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ASML Holding N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande

Fachgebiete

Optik & Fototechnik
Vertreten von
Slenders, Petrus J. W Eindhoven, Niederlande
275
Patente gesamt
19
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik Elektrische Energietechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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