Zeilenabtastender Messerkantenhöhensensor für Halbleiterinspektion und Messtechnik
EP3234990
Art A1
25. Oktober 2017
Anmelder: KLA-TENCOR CORPORATION, KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3234990
- Aktenzeichen
- EP15871121
- Anmeldetag
- 17. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 25. Oktober 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/95G01N21/88G03F7/00G02B21/00G02B21/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- KLA-TENCOR CORPORATION
KLA - Tencor Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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