Verfahren zur Herstellung einer Integrierten Schaltung mit einer Metallisierungsschicht aus einem Material mit Niedriger Dielektrizitätskonstante

EP3236494 Art B1 26. September 2018

Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3236494
Aktenzeichen: EP16165797
Anmeldetag: 18. April 2016
Veröffentlichung: 26. September 2018
Erteilung: 26. September 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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