Rückbeleuchteter Sensor mit Borschicht
EP3236501
Art B1
30. Oktober 2019
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3236501
- Aktenzeichen
- EP17172675
- Anmeldetag
- 8. April 2013
- Veröffentlichung
- 30. Oktober 2019
- Erteilung
- 30. Oktober 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L27/146H01L27/148G01N21/95
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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