Verfahren zur Erzeugung von Mustern in einer Schicht
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3238231
- Aktenzeichen
- EP15817367
- Anmeldetag
- 22. Dezember 2015
- Veröffentlichung
- 23. August 2023
- Erteilung
- 23. August 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/3065H01L21/308H01L21/311H01L31/0236H01L33/00G03F7/00B81C1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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