Verbundsubstrat, Verfahren zur Herstellung einer Nanocarbonfolien und Nanocarbonfolie

EP3239100 Art A1 1. November 2017

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3239100
Aktenzeichen
EP15872860
Anmeldetag
16. Dezember 2015
Veröffentlichung
1. November 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C01B32/05B32B9/00B32B15/04C01B32/956H01L21/02H01L21/265H01L29/06C01B32/184
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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