Vorrichtung und Verfahren zur Durchführung Objektfreier Abbildung

EP3241047 Art B1 12. Juli 2023

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3241047
Aktenzeichen
EP15823605
Anmeldetag
28. Dezember 2015
Veröffentlichung
12. Juli 2023
Erteilung
12. Juli 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G02B6/34G01N15/14G02B6/12// G03H1/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
IMEC vzw
Land
🇧🇪 Belgien
🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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