Befestigen von Nanoobjekten an Strahlabgeschiedenen Strukturen

EP3243931 Art B1 15. April 2020

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3243931
Aktenzeichen
EP16187654
Anmeldetag
7. September 2016
Veröffentlichung
15. April 2020
Erteilung
15. April 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C23F4/02C25D5/02H01J37/18H01J37/30B82Y40/00G01N33/543H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Janssen, Francis-Paul FEI Company · Inhouse Eindhoven, Niederlande
266
Patente gesamt
15
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
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