Mehrachsige Magnetische Linse

EP3244419 Art B1 31. Mai 2023

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Hermes Microvision Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3244419
Aktenzeichen
EP17168514
Anmeldetag
22. Januar 2010
Veröffentlichung
31. Mai 2023
Erteilung
31. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G21K1/08H01J37/141
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
Hermes Microvision Inc.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Haft Karakatsanis Patent Law Office Regen, Deutschland

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