Umdrehvorrichtung, -System und -Verfahren zur Verarbeitung von Artikeln

EP3250487 Art B1 20. April 2022

Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3250487
Aktenzeichen
EP16743847
Anmeldetag
14. Januar 2016
Veröffentlichung
20. April 2022
Erteilung
20. April 2022
Rechtsraum
EP
IPC
B65G47/252B65G47/91
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA-Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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