Spannungsentlastungs-Mems-Struktur und -Verpackung

EP3253708 Art A1 13. Dezember 2017

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3253708
Aktenzeichen: EP16746948
Anmeldetag: 15. Januar 2016
Veröffentlichung: 13. Dezember 2017
Rechtsraum: EP
IPC: B81B7/02B81B7/04B81C1/00B81C3/00G01L19/00G01K13/00G01P15/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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