Verfahren zur Abbildung eines Merkmals mit einem Rastersondenmikroskop

EP3254122 Art A1 13. Dezember 2017

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3254122
Aktenzeichen
EP16705654
Anmeldetag
3. Februar 2016
Veröffentlichung
13. Dezember 2017
Rechtsraum
EP
IPC
G01Q60/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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