Verfahren in Verbindung mit einer Maskenanordnung
EP3254157
Art B1
5. November 2025
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3254157
- Aktenzeichen
- EP16702142
- Anmeldetag
- 1. Februar 2016
- Veröffentlichung
- 5. November 2025
- Erteilung
- 5. November 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/62G03F1/84G03F1/64G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Filip, Diana
Veldhoven, Niederlande
14
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven