Verfahren zur Herstellung Kohlenstoffdotierter Siliciumhaltiger Filme

EP3254303 Art B1 5. Dezember 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3254303
Aktenzeichen: EP16706464
Anmeldetag: 4. Februar 2016
Veröffentlichung: 5. Dezember 2018
Erteilung: 5. Dezember 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C23C16/40C23C16/34C23C16/36C23C16/56C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von