Verfahren und System zur Abbildung einer Fotomaske durch eine Abziehemulsionsschicht

EP3254304 Art A1 13. Dezember 2017

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3254304
Aktenzeichen
EP16747165
Anmeldetag
3. Februar 2016
Veröffentlichung
13. Dezember 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/28H01J37/244G03F1/62G03F1/86// H01J37/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA - Tencor Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

495 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von

Noch Fragen?

Wir helfen Ihnen gerne weiter. Schreiben Sie uns einfach.

Kontakt aufnehmen