Mehrschichtiger Euv-Spiegel, Optisches System mit einem Mehrschichtigen Spiegel und Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtigen Spiegels

EP3257054 Art B1 16. Oktober 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3257054
Aktenzeichen: EP15705941
Anmeldetag: 10. Februar 2015
Veröffentlichung: 16. Oktober 2019
Erteilung: 16. Oktober 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G21K1/06G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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