Verfahren zur Numerischen Berechnung der Beugung einer Struktur

EP3262466 Art A1 3. Januar 2018

Anmelder: Université Jean Monnet Saint-Étienne, Centre National de la Recherche Scientifique, Iff, Wolfgang, Université Jean Monnet Saint Etienne 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3262466
Aktenzeichen: EP16714972
Anmeldetag: 22. Februar 2016
Veröffentlichung: 3. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/47G06F17/12G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Université Jean Monnet Saint-Étienne
Centre National de la Recherche Scientifique
Iff, Wolfgang
Université Jean Monnet Saint Etienne
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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