Filmelektrode für Elektrostatischen Chuck
EP3262677
Art B1
26. November 2025
Anmelder: II-VI Delaware, Inc., M Cubed Technologies Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3262677
- Aktenzeichen
- EP16732745
- Anmeldetag
- 23. Februar 2016
- Veröffentlichung
- 26. November 2025
- Erteilung
- 26. November 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- II-VI Delaware, Inc.
M Cubed Technologies Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
II-VI Delaware
US-amerikanisches Unternehmen, das optische Komponenten, Laser und Halbleiterbauteile für Telekommunikation, Industrie und Sensorik entwickelt, Teil von Coherent.
114 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Miller, James Lionel Woolverton
London, Großbritannien
1.396
Patente gesamt
34
Fachgebiete
36
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kilburn & Strode LLP
Kilburn & Strode LLP · London