Testplatte und Methode der Verwendung

EP3263219 Art B1 9. September 2020

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3263219
Aktenzeichen: EP17176789
Anmeldetag: 20. Juni 2017
Veröffentlichung: 9. September 2020
Erteilung: 9. September 2020
Rechtsraum: EP
IPC: B01L3/00G01N21/64G01N35/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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