Sic-Epitaxialwafer und Verfahren zur Herstellung des Sic-Epitaxialwafers

EP3266907 Art A1 10. Januar 2018

Anmelder: Resonac Corporation, Showa Denko K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3266907
Aktenzeichen: EP16758745
Anmeldetag: 16. Februar 2016
Veröffentlichung: 10. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C30B29/36H01L21/20H01L21/205

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Resonac Corporation
Showa Denko K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Resonac

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, hervorgegangen aus Showa Denko. Das Unternehmen stellt unter anderem Halbleitermaterialien, Elektronikchemikalien und funktionale Chemieprodukte her.

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🇯🇵 Showa Denko

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, seit 2023 als Resonac Holdings firmierend. Aktiv in Petrochemie, Elektronikmaterialien, Batteriematerialien sowie Halbleiterchemikalien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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