Turbomolekularpumpe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3267040

Aktenzeichen

EP16177824

Anmeldetag

4. Juli 2016

Veröffentlichung

20. Dezember 2023

Erteilung

20. Dezember 2023

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Turbomolekularpumpe mit einem Pumpeneinlass und einem Pumpenauslass, die in einem gemeinsamen Pumpengehäuse ausgebildet sind, zumindest einer Turbomolekularpumpstufe, die einen dem Pumpeneinlass zugeordneten Einlassbereich und einen Auslassbereich aufweist, und wenigstens einer zwischen dem Auslassbereich der Turbomolekularpumpstufe und dem Pumpenauslass wirksamen Vorpumpstufe, die dazu ausgebildet ist, von der Turbomolekularpumpstufe gefördertes Gas zu verdichten und gegen einen Gasdruck von mehr als 1 mbar, insbesondere gegen Atmosphärendruck, auszustoßen, wobei die Vorpumpstufe in die Turbomolekularpumpe integriert ist.

Anmelder

Firma

PFEIFFER VACUUM GMBH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete