Vorrichtung mit mehreren Geladenen Teilchenstrahlen

EP3268979 Art A1 17. Januar 2018

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Ren, Weiming, Li, Shuai, Liu, Xuedong, Chen, Zhongwei, Hermes Microvision Inc. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3268979
Aktenzeichen
EP16762718
Anmeldetag
13. April 2016
Veröffentlichung
17. Januar 2018
Rechtsraum
EP
IPC
H01J49/00G01N23/00G21K5/10G21K7/00H01J37/147H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
Ren, Weiming
Li, Shuai
Liu, Xuedong
Chen, Zhongwei
Hermes Microvision Inc.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Peters, John Antoine Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik Software & Datenverarbeitung Elektrische Energietechnik
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