System und Verfahren für Steuerbare Nichtflüchtige Metallentfernung

EP3268984 Art A1 17. Januar 2018

Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3268984
Aktenzeichen: EP16765410
Anmeldetag: 1. März 2016
Veröffentlichung: 17. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213// H01L21/67C23F1/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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